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基于豐富的產品，針對不同行業(yè)特性，深入場景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉型。 -
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集團成員
ENAHYB2110F_4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人
產品描述
4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人
AHYB2110F_AHY系列半導體機器人
- ● 高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境
- ● 電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性
- ● 高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度
- ● 采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制
- ● 同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
臂長
213.4mm
額定/最大負載
≤1kg
搬運物
≤Φ300mm晶圓
關鍵詞：
新時達眾為興AHYB4210F_4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人
規(guī)格參數(shù)
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